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聚焦于高純氣體，穩定同位素，金屬化合物和高純化學品等化工新材料的供應和銷售
Trichlorosilane - 三氯氫硅 - SiHCl3, TCS
三氯硅烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載三氯氫硅是一種具有腐蝕性，無色，易燃液體，有窒息性氣味。蒸氣會刺激粘膜,當暴露于潮濕的空氣中會形成密集的煙霧在潮濕的空氣中迅速水解，形成氯化氫。用特殊的不銹鋼鋼瓶充裝，這種鋼瓶可以提供氣態也可以提供液態的三氯氫硅。
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| 規格 | |
| 純度，% | 99.95 |
| 電阻率 | ?≥ 300 ohm-cm |
| 硼 | ≤ 0.1 ppba silicon? |
| 碳 | ≤ 5 ppma |
| 鐵 | ≤ 5 ppba |
| 其他氯硅烷 | ≤ 500 ppm |
| 運輸 | |
| DOT 運輸名稱 | 三氯氫硅 |
| DOT 分類 | 4.3 |
| DOT 標簽 | 可燃液體，腐蝕 |
| UN NO. | UN 1295 |
| CAS No. | 10025-78-2 |
| 技術信息 | |
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 |
| 在空氣中的燃燒極限 | 7-83% |
| 自然溫度 (°C ) | 182 |
| 分子量 (g/mol) | 135.45 |
| 比重 ( 空氣 =1) | 4.67 |
| 臨界溫度 ( °C ) | 242.5 |
| 臨界溫度 ( psig ) | |
| 應用 | |
| 1. 在有機硅化學反應 2. 在半導體制造：硅的外延沉積。 | |
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